日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器产品简介:
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通??煞治寤髁亢椭柿苛髁俊L寤髁坑捎谑艿郊撇馐被肪澄露群脱沽Φ挠跋?,如需要准确测定时,须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在须对流量进行准确计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。